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本发明提供一种TEM样品的制备方法，其先使用能量较小的离子束对MEMS样品最上端悬浮薄膜结构中的目标结构进行小电流L型或U型切割，而后在纳米操作仪的探针粘接下将目标结构从悬浮薄膜结构中切割下来，最后使用原位吸取的方式将其转移到铜支架上进行最...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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