下载一种纳米复合涂层及其沉积方法的技术资料

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一种多层纳米复合涂层,从下至上依次由A、B、C三层涂层组成,所述A涂层为金属Cr、金属Ti或钛铬合金;所述B涂层为TiAlN、CrAlN、TiAlSiN或ZrN,掺杂La、Ce、Y稀土元素中的任一种或多种;所述C涂层为Si3N4。沉积本发明...
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