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本发明公开了一种基于全内反射照明技术的亚表面损伤测量装置及方法。该装置包括沿光路方向依次设置的光源系统、待测台和诺马斯基干涉仪，其中光源系统包括沿光路方向顺次设置的激光器、第一偏振片、第一渥拉斯顿棱镜、准直透镜、第一反射镜和第二反射镜，待测...
该专利属于南京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京理工大学授权不得商用。

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