下载制造发光装置的方法的技术资料

文档序号:11754991

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本发明提供了一种制造发光装置的方法。制造发光装置的方法包括:将基底放置在第一室中,所述基底包括第一半导体层和在第一半导体层上以预定图案形成的金属材料层;在第一室中,在第一半导体层和金属材料层上形成第二半导体层,同时在第一半导体层的位于金属材...
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