下载在原子力显微镜上标定微悬臂梁弹性常数的溯源方法的技术资料

文档序号:11753835

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本发明提供一种原子力显微镜微悬臂梁弹性常数热噪声标定法的溯源方法,所述溯源方法是在原子力显微镜上通过微悬臂梁弹性常数的溯源标定装置进行标定的,该方法步骤包括有微悬臂梁弹性常数范围的区间划分、微悬臂梁实物基准、溯源实验方法、溯源修正因子的计算...
该专利属于天津大学所有,仅供学习研究参考,未经过天津大学授权不得商用。

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