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本实用新型涉及真空镀膜设备领域，尤其涉及用于真空系统运动机构的锁紧机构，其特征在于：所述机构至少由驱动气缸和弹簧锁紧导杆机构构成，所述弹簧锁紧导杆机构包括导杆、弹簧以及牵引块，所述导杆具有一运行通道，所述弹簧套装于所述导杆外壁，所述导杆外壁...
该专利属于光驰科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光驰科技（上海）有限公司授权不得商用。

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