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一种石墨烯生长用石英舟制造技术
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下载一种石墨烯生长用石英舟的技术资料
文档序号:11746512
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本实用新型公开了一种石墨烯生长用石英舟,属于石墨烯生长工具的技术领域,该装置包括一个石英舟本体,一个楔形石英体,所述楔形石英体其上表面与下表面成一定夹角,上下表面间距沿气源方向逐渐减小,楔形石英体上表面设置有条状凸起。所提出的石墨烯生长用石...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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