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本实用新型涉及一种靶材，具体涉及一种磁控溅射用镶嵌靶材，包括基板，基板与冷却背板相连，圆柱状嵌体嵌入到基板和冷却背板的内部，圆柱状嵌体对称设置在基板上表面横向中心线的两侧，基板和冷却背板上设置有台阶孔。本实用新型结构简单，易于加工，节约材料...
该专利属于山东昊轩电子陶瓷材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过山东昊轩电子陶瓷材料有限公司授权不得商用。

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