下载一种硅片插片机用供片装置的技术资料

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一种硅片插片机用供片装置,包括硅片分片机构和硅片输送机构;硅片分片机构的第一输送带位于所述第二输送带的上方,且所述第一输送带的第一端的投影位于第二输送带上,储片盒对应第一输送带的第二端设置,储片盒内设有硅片上下移动驱动装置;吹气口位于所述第...
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