下载用于化学机械研磨的浆料传送装置的技术资料

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本实用新型是一种用于化学机械研磨的浆料传送装置,包括一本体与一输出件,本体具有一施放端,本体可受带动而于一研磨平面上方原地偏摆,输出件设有一通道与多个连通通道的喷孔,通道沿一中心轴延伸,各喷孔沿一路径排列于输出件,且各喷孔朝向研磨平面,输出...
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