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本发明提供一种基板层压设备及对准系统，该基板层压设备包括：真空室；柔性膜，该柔性膜将所述真空室划分为第一腔室和第二腔室；以及基板支撑件。...
该专利属于罗克韦尔柯林斯公司所有，仅供学习研究参考，未经过罗克韦尔柯林斯公司授权不得商用。

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