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本发明提供的准分子激光退火装置，包括工艺腔室、脉冲延长模块和激光器，激光器用于发射激光束；脉冲延长模块用于将该激光束的脉冲时间延长，并向设置在反应腔室内的基板输出延长后的脉冲激光；脉冲延长模块包括：至少两组脉冲延长偏向镜组，每组脉冲延长偏向...
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