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基于石墨烯碳纳米管复合吸收层的红外光探测晶体管制造技术
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下载基于石墨烯碳纳米管复合吸收层的红外光探测晶体管的技术资料
文档序号:11704695
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本发明提供了一种基于石墨烯碳纳米管复合吸收层的红外光探测晶体管。该晶体管包括自下而上依次设置的栅极金属层、衬底、栅极介质层、石墨烯/碳纳米管复合吸收层;所述石墨烯/碳纳米管复合吸收层由至少一层石墨烯层和至少一层碳纳米管层组成,并且,至少一层...
该专利属于南京大学所有,仅供学习研究参考,未经过南京大学授权不得商用。
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