下载一种GaN纳米线及其制备方法的技术资料

文档序号:11704693

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本发明公开了一种GaN纳米线及其制备方法,GaN纳米线制备方法步骤包括:通过MOCVD在衬底上外延生长三族氮化物薄膜,并在此外延片上制备图形化掩蔽膜,基于MOCVD选择性区域生长方法在该图形化的外延片上生长GaN六角金字塔微结构,然后通过碱...
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