下载卧式双端口平面斐索干涉测试装置的技术资料

文档序号:11703651

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一种用于检测平面光学元件的卧式双端口斐索干涉测试装置,由大测试端口和小测试端口两部分组成,分为大测试端口模块、小测试端口模块、测试对准模块、激光光源模块和变焦成像模块五个模块。该干涉测试装置可实现φ24mm~600mm口径范围的所有口径平面...
该专利属于成都太科光电技术有限责任公司;赵智亮所有,仅供学习研究参考,未经过成都太科光电技术有限责任公司;赵智亮授权不得商用。

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