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一种利用含硅气体制备纳米硅粉颗粒的装置制造方法及图纸
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下载一种利用含硅气体制备纳米硅粉颗粒的装置的技术资料
文档序号:11700971
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本实用新型公开了一种利用含硅气体制备纳米硅粉颗粒的装置。装置包括壳体、盖板、循环水进口、循环水出口、电极套、物料喷嘴、发热体、挡板、发热体电源、纳米粉收集器、预热混合器、含硅气体储罐、载气储罐。电源提供能量使发热体发热,在条件高温气氛环境下...
该专利属于浙江中宁硅业有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江中宁硅业有限公司授权不得商用。
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