下载一种玻璃基底带倒角通孔的激光钻孔方法的技术资料

文档序号:11700425

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本发明适用于非晶硅太阳电池钻孔领域,提供了一种玻璃基底带倒角通孔的激光钻孔方法,将激光待钻的通孔分为多个加工层,从玻璃基底底部向上逐层加工,每个加工层的加工轨迹为内摆线轨迹;从基底底部的加工层开始,加工层的直径不断减小直到符合倒角的锥度要求...
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