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本发明提出了一种有源消声装置及光刻设备，带有误差传感器的有源消声装置改善了有源消声能力，能够将剩余噪声号反馈至控制单元，从而对次级噪声进行修正，提高了降噪效果，能很好地降低500Hz以下初级噪声的影响。本发明将有源消声信装置运用于所述光刻设...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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