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本发明涉及一种TSV硅片预对准装置及其方法，该装置包括光源、图像传感器、使TSV硅片产生旋转和升降运动的第一装置和使TSV硅片产生平移的第二装置，所述图像传感器采集所述光源从所述TSV硅片上反射的光线信号，所述第一装置和第二装置根据该光线信...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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