下载一种低气压等离子体增强渗氮的设备的技术资料

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一种低气压等离子体增强渗氮的设备,属于材料表面改性技术领域。包括氮化炉腔体,氮化炉盖盖合于氮化炉腔体上部开口之上,氮化炉腔体底部安装有支撑平台,支撑平台上放置工件,支撑平台与工件偏压电源负极相连,支撑平台与氮化炉腔体绝缘,偏压电源正极与氮化...
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