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本实用新型公开了一种高密度钴酸锂旋转靶材，包括由外至内依次设置的高温烧结而成的高密度钴酸锂旋转圆柱靶管、邦定层和刚性芯杆，所述靶管和刚性芯杆通过所述邦定层浇铸粘接在所述刚性芯杆上，所述靶管成分为LiCoO2，密度为4.95g/cm3，相对密...
该专利属于深圳恒泰克科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳恒泰克科技有限公司授权不得商用。

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