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静电式微扫描镜的角度检测电路制造技术
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文档序号:11666032
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一种静电式微扫描镜的角度检测电路,包括一电容值感测单元、一低通滤波放大单元及一角度判断单元。电容值感测单元耦接静电式微扫描镜的一镜面电极,用以感测静电式微扫描镜的等效电容值且提供一电容感测信号。低通滤波放大单元耦接电容值感测单元以接收电容感...
该专利属于光宝科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过光宝科技股份有限公司授权不得商用。
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