下载静电式微扫描镜的角度检测电路的技术资料

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一种静电式微扫描镜的角度检测电路,包括一电容值感测单元、一低通滤波放大单元及一角度判断单元。电容值感测单元耦接静电式微扫描镜的一镜面电极,用以感测静电式微扫描镜的等效电容值且提供一电容感测信号。低通滤波放大单元耦接电容值感测单元以接收电容感...
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