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一种脉冲溅射电源，包括顺序连接的三相整流电路、逆变电路、高频变压器、整流滤波电路、脉冲发生电路；其特征在于：包括中央处理器、驱动电路、信号采集模块、保护模块、上位机、液晶显示模块、信号输入模块；所述中央处理器为ARM系统；所述信号采集模块包...
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