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单晶三轴磁场传感器制造技术
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下载单晶三轴磁场传感器的技术资料
文档序号:11665045
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提供了一种三轴磁性传感器或磁力计。利用螺旋条状纹式AMR结构的两个磁性传感器惠斯通电桥被制作在凸块结构的相反侧,该凸块结构形成在基板上,以提供相对于基板的平坦表面处于预定角度的表面。电桥组件沿Y轴定向,并且各电桥被互连使得可以通过处理电桥信...
该专利属于美新公司所有,仅供学习研究参考,未经过美新公司授权不得商用。
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