下载P型埋层覆盖型超结横向双扩散金属氧化物半导体场效应管的技术资料

文档序号:11661010

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本发明公开一种新的SJ-LDMOS器件。与传统的SJ-LDMOS相比,本发明通过P型埋层和N型buffer层的共同作用,补偿了超级结内N型柱区和P型柱区之间的电荷不平衡,克服了衬底辅助效应,提高了击穿电压;同时,P型埋层可以提高N型buff...
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