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P型埋层覆盖型超结横向双扩散金属氧化物半导体场效应管制造技术
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文档序号:11661010
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本发明公开一种新的SJ-LDMOS器件。与传统的SJ-LDMOS相比,本发明通过P型埋层和N型buffer层的共同作用,补偿了超级结内N型柱区和P型柱区之间的电荷不平衡,克服了衬底辅助效应,提高了击穿电压;同时,P型埋层可以提高N型buff...
该专利属于西安电子科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安电子科技大学授权不得商用。
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