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本发明公开了一种基于接触测量的白光干涉原子力扫描探针标定系统及标定方法，该标定系统包括面CCD测量系统，原子力探针扫描显微镜组件，白光光源系统，纳米级垂直微位移平台、激光干涉位移计量系统以及数据处理系统，其中面CCD测量系统、白光光源系统以...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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