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本实用新型提供一种内层电介质可靠性测试结构，所述测试结构至少包括第一子测试结构和第二子测试结构；所述第一子测试结构包括若干纵向排列的第一多晶硅和若干横向排列的第二多晶硅；所述第二子测试结构包括一列纵向排列的第一多晶硅、若干条横向第一多晶硅、...
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