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本发明提供一种微波等离子体化学气相沉积设备，包括微波源，第一波导管，微波模式转换器和谐振装置，第一波导管的一端与微波源连接，另一端与微波模式转换器连接；谐振装置包括一谐振腔和微波聚集单元，谐振腔的顶部设有介质窗口，微波模式转换器位于介质窗口...
该专利属于朱雨所有，仅供学习研究参考，未经过朱雨授权不得商用。

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