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本发明公开了一种包含光致抗蚀剂组分和全氟聚醚硅烷的可光致固化的组合物。该组合物能够使光掩模更容易地从光致抗蚀剂剥离。...
该专利属于3M创新有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过3M创新有限公司授权不得商用。

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