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本发明是一种基板处理装置，该基板托盘具备托盘本体，和包含支撑基板的基板支撑部的基板支撑板，托盘本体包含基板保持部和磁铁，该基板保持部以基板应处理的部分露出的方式保持上述基板的周端部该磁铁以通过磁力上述托盘本体保持上述基板支撑板的方式被配置在...
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