下载在半导体器件的不同层中提供掺杂剂浓度控制的方法和系统的技术资料

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一种通过控制可以与第二材料相互作用的第三材料的量来控制包含到第一材料中的第二材料的量的方法和系统。...
该专利属于第一太阳能有限公司;熊刚;瑞克·C·鲍威尔;彭西林;约翰·巴登;阿诺德·阿勒尼克;廖峰;肯尼思·M·润所有,仅供学习研究参考,未经过第一太阳能有限公司;熊刚;瑞克·C·鲍威尔;彭西林;约翰·巴登;阿诺德·阿勒尼克;廖峰;肯尼思·M·润授权不得商用。

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