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一种硅片脱胶设备制造技术
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文档序号:11621752
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本实用新型提供一种硅片脱胶设备,包括机壳,机壳内有用于使硅片和玻璃板分离的预清洗装置,机壳内还有用于使玻璃板和切割盖板分离的水煮脱胶装置。通过该硅片脱胶设备能够在同一工序中完成硅片和玻璃板的分离、以及玻璃板和切割盖板的分离。...
该专利属于特变电工新疆新能源股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过特变电工新疆新能源股份有限公司授权不得商用。
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