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本发明涉及一种真空紫外激光发生装置，包括入射窗口、非线性作用主体、偏转电极以及出射窗口。其中，入射窗口、非线性作用主体和出射窗口同轴的依次装配在一起，偏转电极安装在激光作用主体内部。具体而言，可见波段激光在非线性作用主体内部与气体介质相互作...
该专利属于中国科学院大连化学物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院大连化学物理研究所授权不得商用。

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