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金刚石纳米线阵列、其制备方法及用于电化学分析的电极技术
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文档序号:11612765
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本发明公开了一种金刚石纳米线阵列、制备方法及用于电化学分析的电极。该制备方法包括:在金刚石薄膜的表面上设置掩模层,该掩模层的图形构成为覆盖待形成的各个金刚石纳米线的顶端,并暴露出相邻的金刚石纳米线之间的待刻蚀部分;采用ICP-RIE刻蚀工艺...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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