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本发明涉及单晶硅生产设备技术领域，特别涉及一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置，包括提升杆、提升滑套、托板、支臂和连接杆，所述提升滑套设在提升杆外部，提升杆与提升滑套可相对滑动，所述托板、支臂和连接杆组成卡托机构，卡托机构设置在提升杆和提升滑套的...
该专利属于常州市天龙光电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州市天龙光电设备有限公司授权不得商用。

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