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硬质皮膜被覆工具及其制造方法技术
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文档序号:11603188
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一种在由WC基超硬合金构成的基体上,直接通过化学气相沉积法形成碳氮化钛层而成的硬质皮膜被覆工具,其中,碳氮化钛层具有含有74~81质量%的钛、13~16质量%的碳和6~10质量%的氮的组成,碳氮化钛层具有由具有0.01~0.22μm的平均横...
该专利属于日立工具股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过日立工具股份有限公司授权不得商用。
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