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本发明公开了一种智能净化装置，所述装置安装在屏蔽箱的天板或者载板上，包括气阀、限位器和可控节气阀；所述可控节气阀进气端与所述气阀出气端相通形成除尘气道，所述限位器与所述可控节气阀连接，并根据测量的天板下压距离控制所述可控节气阀的开或关。本发...
该专利属于杨光所有，仅供学习研究参考，未经过杨光授权不得商用。

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