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本发明公开了一种镶入式梅花型电极结构,铜极柱为三段阶梯轴,铜极柱的小端上设置有M12×1.25的外螺纹;铜极柱的中间段为6瓣梅花型结构;铜极柱大端远离中间段的端面上为同心圆密封区,同心圆密封区的中心设置有带盲孔的凸台A,同心圆密封区的表面粗...该专利属于靖江先锋半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过靖江先锋半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种镶入式梅花型电极结构,铜极柱为三段阶梯轴,铜极柱的小端上设置有M12×1.25的外螺纹;铜极柱的中间段为6瓣梅花型结构;铜极柱大端远离中间段的端面上为同心圆密封区,同心圆密封区的中心设置有带盲孔的凸台A,同心圆密封区的表面粗...