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分光特性测量装置制造方法及图纸
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下载分光特性测量装置的技术资料
文档序号:11596530
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本发明的分光特性测量装置具备:分割光学系统,其将从位于被测量物的测量区域内的多个测量点分别发出的测量光束分割为第一测量光束和第二测量光束;成像光学系统,其使第一测量光束与第二测量光束发生干涉;光程差赋予单元,其对第一测量光束和第二测量光束之...
该专利属于国立大学法人香川大学所有,仅供学习研究参考,未经过国立大学法人香川大学授权不得商用。
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