下载用于控制微机械执行器的调节器、控制系统和方法以及微镜系统的技术资料

文档序号:11590515

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本发明公开一种用于控制微机械执行器的调节器,调节器具有:第一信号输入端,用于接收参考信号;第二信号输入端,用于接收测量信号;第一调节器元件,用于在所接收的参考信号中滤波和/或衰减预给定的频率模态和/或预给定的频率分量并且输出经滤波的和/或经...
该专利属于罗伯特·博世有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过罗伯特·博世有限公司授权不得商用。

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