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一种制备镍-氮掺杂金刚石的射频放电气相沉积方法技术
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文档序号:11585621
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一种制备镍-氮掺杂金刚石的射频放电气相沉积方法,属于金刚石气相沉积制备技术领域。利用喷射的射频放电等离子体来增强化学气相沉积,实现镍-氮掺杂金刚石制备。将射频放电激发的等离子体以喷射的方式掠射衬底,通过调整工艺参数构建出稳定的等离子体边界层...
该专利属于中国科学院大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院大学授权不得商用。
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