下载在线式涂敷装置、在线式涂敷方法以及隔板的技术资料

文档序号:11584096

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本发明提供一种批量生产性优异、并且可以对工件施加适合的偏压的在线式涂敷装置、在线式涂敷方法以及隔板。在线式涂敷装置(10)具有:涂敷部(12),其具有排列好的多个涂敷材料(121、122、123、124),用于涂敷工件(W);输送部(13)...
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