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提供一种成膜方法以及成膜装置，能够抑制成膜中的被膜的氧化，能够使装置简化且低价，并且不耗费精力和时间就能够更换成膜对象的基材。成膜装置(100)使原料的粉末(2)与气体一并加速，将该粉末(2)保持为固相状态向基材(1)的表面喷涂，使该粉末(...
该专利属于日本发条株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本发条株式会社授权不得商用。

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