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本发明公开了一种对准成像装置，包括：同轴照明组件，包括照明前组和图像增强组件，图像增强组件采用角锥棱镜组、菲涅尔透镜组或二元光学元件；成像组件，沿光传播方向依次包括成像前组、分光单元、成像孔径光阑、成像后组和探测器；控制器，与照明前组、图像...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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