下载一种氮化镓基场效应晶体管及其制备方法的技术资料

文档序号:11578713

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本发明公开了一种氮化镓基场效应晶体管,包括有由下至上依次层叠的衬底、缓冲层、氮化镓(GaN)层、氮化铝镓(AlGaN)层,及设置于氮化铝镓层上的源极、漏极和位于两者之间的栅极,所述栅极是由导电类钻碳(Diamond-like carbon;...
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