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一种离子源组件的接气装置制造方法及图纸
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下载一种离子源组件的接气装置的技术资料
文档序号:11574484
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本实用新型公开了一种离子源组件的接气装置,包括:固定部,所述固定部设置于质谱仪真空腔体与离子源之间,离子源固定在所述固定部一侧;所述固定部内设有与外部相通的通气孔一;离子源靠近固定部处设有与通气孔一对应连接的通气孔二;气管接头二,所述气管接...
该专利属于江苏天瑞仪器股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过江苏天瑞仪器股份有限公司授权不得商用。
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