下载真空双极溅射餐具镀膜方法的技术资料

文档序号:11553302

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本发明涉及餐具镀膜,具体涉及一种真空双极溅射餐具镀膜方法,包括封闭的溅射室,溅射室的中间为带负极的金属柱体,即单极靶,所述单极靶设置成中空,且单极靶内设置有磁块,由磁块形成定磁场;溅射室内、单极靶的周围设置带正极的工架;具体镀膜步骤如下:步...
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