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本发明提供了一种红外气体传感器包括第一硅基晶圆，所述第一硅基晶圆间隔设有位于同一侧的红外光源和红外探测器；与所述第一硅基晶圆键合的双抛的第二硅基晶圆，所述第二硅基晶圆上具有滤光镜、分别与所述红外光源和所述红外探测器相对应的第一气体通道和第二...
该专利属于苏州诺联芯电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州诺联芯电子科技有限公司授权不得商用。

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