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本发明公开一种零位传感器，包括：一基座，用于定位、支撑和包纳该零位传感器；一调节板，包括第一定位销，该调节板可在该基座一面滑动，该调节板上设有第一定位孔和锁紧装置，该锁紧装置用于锁紧该调节板与基座的相对位置；激光准直镜，用于发射激光，该激光...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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