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一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的方法及设备技术
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下载一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的方法及设备的技术资料
文档序号:11521063
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本发明属于冶金熔炼领域,特别涉及一种电子束熔炼多晶硅除氧与铸锭耦合的方法及设备,该方法首先将炉体和电子枪抽真空,启动熔炼用电子枪对多晶硅料进行电子束熔炼,熔炼初步去除杂质氧;在辐射用电子枪作用下保持液态进一步除氧,最后通过水冷传输带引导进入...
该专利属于青岛隆盛晶硅科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过青岛隆盛晶硅科技有限公司授权不得商用。
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